半導體工業(yè)空氣過濾器的必要性

信息來源：http://m.ichaopoo.cn/ 發(fā)布時間：2014/2/2 11:08:04 點擊數(shù)： Tags: 過濾器

當今，半導體廠對生產(chǎn)環(huán)境潔凈程度非常挑剔，對空氣過濾器的要求也越來越苛刻，而在半導體廠，半導體廠用空氣過濾器起著非常重要的作用，是不可缺少的，下面我們就一起來了解一下。

空氣中海鹽粒子是所有電子工業(yè)的大敵，但空氣中海鹽粉塵顆粒比較大，普通過濾器就能將其過濾掉。有人說搞電子工業(yè)理想地點應該遠離海岸，可沿海地區(qū)經(jīng)濟發(fā)達，芯片廠一窩蜂似的就建在了沿海地區(qū)，在過濾器上多花點錢就是了。

活性炭過濾器過濾等級技術可以將潔凈室的粉塵濃度降到近乎為零，你想要多干凈都能達到。當芯片上的線寬小到0.5mm時，人們發(fā)現(xiàn)空氣中的化學污染物成了影響成品率的主要危害，于是，在線寬小于0.5mm的芯片廠空調(diào)系統(tǒng)中普遍配置了精密空氣過濾器。精密空氣過濾器的原理和制造工藝并不復雜，它就是活性炭過濾器，但傳統(tǒng)的活性炭過濾器制造廠和軍工廠沒有搭上芯片廠這班車，芯片廠的深圳活性炭過濾器大都是空調(diào)過濾器的制造廠家提供的。

化學污染物的來源可能是：室外空氣、工藝本身、人、裝修材料。多數(shù)情況下，設計師和現(xiàn)場人員也說不清污染物的種類和濃度，因此，為他們提供的化學過濾器至少應具有兩個特點：廣譜吸附性能、足夠多的活性炭材料。所謂廣譜吸附就是對什么都能多少吸附些，能有這種功能的就是普通、便宜的顆�；钚蕴�。如果能確定污染物種類，就可以對活性炭材料進行有針對性的化學處理，以增強對特定污染物的吸附能力。過濾器供應商有時還要提供相應的現(xiàn)場檢測服務，以幫助用戶確定反滲透過濾器的使用情況，這就要求供應商中有搞化學過濾的有經(jīng)驗的人，并與名氣大的化學實驗室有密切的關系。

半導體工業(yè)并不是人們普遍認為的“無煙工業(yè)”，也就是說它也是有環(huán)境問題的，稍不小心就會造成嚴重的化學污染。因此，為了保險起見，半導體廠一般都會使用空氣過濾器。

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