ULPA過濾器檢測方法介紹以及檢測誤差控制

信息來源：http://m.ichaopoo.cn/ 發(fā)布時間：2013/12/6 10:06:26 點擊數(shù)： Tags: 過濾器

ULPA過濾器全稱為超高效空氣過濾器，或稱超低穿透率空氣過濾器，對0.1~0.2μm的微粒、煙霧和微生物等塵埃粒子的過濾效率達到99.999%以上。ULPA超高效過濾網(wǎng)，ULPA是在HEPA的基礎上經(jīng)進一步加強了HEPA的過濾效果,ULPA對0.3微米以上的微粒子的過濾效率達到99.9999%以上。ULPA與HEPA相比，濾料結構更緊湊、過濾效率更高, 但同時， 阻力也更高。

[一]ULPA過濾器特點：

濾芯用超細玻璃纖維濾料經(jīng)打膠折疊而成，外框可選用夾層木板、鍍鋅銅板、不銹鋼板及鋁合金板，通過聚氨酯膠緊密粘接，具有質量輕、透氣量大，集塵率高達99.95-99.999%，且耐堿，耐高溫。

[二]ULPA過濾器用途：

適用于10000級-100級潔凈系統(tǒng)，空調系統(tǒng)，因此產(chǎn)品已應用于電子、微電子、半導體、光器件、生物和醫(yī)藥線路、照相機和光學儀器、精密機械等多個領域。

[三]ULPA過濾器測試方法及其特點：

1)粒子計數(shù)法

此法是以離散粒子計數(shù)器 (DPC) 作為檢測儀器，測試用氣溶膠可以是單分散或多分散液體或固體物質，選擇范圍較寬，常用多分散氣溶膠，如 DOP 或其替代的 DOS 等液態(tài)物質所發(fā)生的。此法靈敏度較高，目前主要用于 ULPA 過濾器其 η≥99.999 % (0.1-0.2μm) 的測 試，當然亦可用于 HEPA 過濾器的測試。替代 DOP 法當已是趨勢。

2)DOP法

此法是以光度計作檢測，測試用氣溶膠必須是單分散 (0.31μm) 的 DOP 或其替代的 DOS 等液態(tài)物質所發(fā)生的。

3)鈉焰法。

此法采用火焰光度計，它對 NaCl 燃燒的火焰色度 ( 相當于 NaCl 的質量 ) 作響應， NaCl 質量粒徑分布在 0.02-2μm 間或更狹一些。其質量平均粒徑 (MMD) 在 0.5-0.6μm 間。此法靈敏度低，且 NaCl 對微電子工廠的產(chǎn)品質量有害，因此國外早已不用。

4)MPPS法

過濾器測試時，需先測定濾料的 MPPS ：另外，其對過濾器效率的測試不是采用整體測試，而是掃描測試每一處的局部穿透率然后統(tǒng)計處理得出穿透率及效率。大允許局部穿透率比整體的高 5 倍或更多。

[四]ULPA過濾器誤差及控制

(1)氣溶膠濃度變化會影響測試結果，因此其濃度均勻及穩(wěn)定亦是必須保證的，常需通過混勻器及多點測試并調整進行控制。

(2)流速，除粒徑外是影響過濾器效率的較重要的因素。因此必須使流速均勻并穩(wěn)定。常需通過測定并調整進行控制。

(3)氣溶膠粒子在測試系統(tǒng)內會沉積，會影響測試結果，需采用盡量短的管路并合理布置。

(4)在用冷發(fā)的氣溶膠時，氣溶膠在噴嘴內進行機械破碎時會帶靜電 ( 熱發(fā)時不存在 ) ，因此需要設中和器加以中和，以免粒子沉積。

(5)采用粒子計數(shù)器作檢測時，需注意避免重疊誤差需采用稀釋器及本底噪音值的控制并及時校正。

(6)管路內壁由于氣流流動時會積聚靜電，影響氣溶膠粒子沉積，因此需采用金屬管道并接地。

(7)粘度、壓降、溫濕度、振動以及非等動力采樣都會在一定條件下對測試產(chǎn)生影響，一般有的關系不大，有的易控制或在計算時加以修正。

ULPA過濾器在各個行業(yè)使用都非常，它適用于10000級-100級潔凈系統(tǒng)，空調系統(tǒng)，因此產(chǎn)品已應用于電子、微電子、半導體、光器件、生物和醫(yī)藥線路、照相機和光學儀器、精密機械等多個領域。

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