濾芯制造提高成品率和成功操作的關(guān)鍵因素

信息來(lái)源：http://m.ichaopoo.cn/ 發(fā)布時(shí)間：2013/10/13 11:03:50 點(diǎn)擊數(shù)： Tags: 濾芯設(shè)備

上海禾益凈化設(shè)備制造有限公司生產(chǎn)的濾芯采用0.1~0.2μm級(jí)的濾器過(guò)濾光敏抗蝕劑，目的是用以去除由裝運(yùn)容器產(chǎn)生的雜質(zhì)和聚合物不穩(wěn)定產(chǎn)生的膠體粒子。為什么要專門(mén)針對(duì)這些膠體粒子進(jìn)行處理呢?有經(jīng)驗(yàn)的人表示這些膠體粒子在高壓下能通過(guò)多空過(guò)濾器，因而更難過(guò)濾。

光敏抗蝕劑在使用點(diǎn)過(guò)濾對(duì)于提高成品率至關(guān)重要。這種應(yīng)用的理想過(guò)濾器應(yīng)能去除大于其孔徑的粒子，且不增加污染物(粒子或可萃取物)。由于大多數(shù)光敏抗蝕劑溶液含有好的聚合物溶劑，因此全部采用氟聚合物結(jié)構(gòu)的濾器為比較好。

由于上海禾益濾芯裝置生產(chǎn)期間晶片要用去除粒子水沖洗幾次，因而在生產(chǎn)過(guò)程中它要與100~100dm3去離子水相接觸。由于重復(fù)操作，去離子水的質(zhì)量對(duì)于半導(dǎo)體生產(chǎn)的成功操作也至關(guān)重要。

在上海禾益濾芯制造用水方面，微過(guò)濾設(shè)備是去離子水循環(huán)系統(tǒng)的主要組成設(shè)備，屬水處理中的三級(jí)處理。三級(jí)處理系統(tǒng)的目的是去除循環(huán)水中的各種污染物。微量離子由混合床去離子器去除。細(xì)菌是有紫外線消毒裝置控制，以及定期用消毒劑例如過(guò)氧化氫或臭氧進(jìn)行處理。對(duì)于離子水過(guò)濾設(shè)備的標(biāo)準(zhǔn)要求，是能去除進(jìn)空系統(tǒng)中存在的任何懸浮粒子，而且不能把懸浮的和溶解的污染物帶入已過(guò)濾的產(chǎn)品水中。

上海禾益凈化設(shè)備制造有限公司表示，為了確保濾芯的治療和工作時(shí)的效率，在生產(chǎn)中的時(shí)候需要注意的細(xì)節(jié)和知識(shí)有很多，需要所有的人用心的去揣摩并積極實(shí)踐。

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